然而,在这巨大的压力之下,一种熟悉的、近乎本能的情感开始在秀秀心中涌动——那不是畏惧,不是沮丧,而是一种被挑战所激发的、强烈的斗志与创新冲动。
她睁开眼,目光重新变得锐利而清澈。她拿起内部通讯器,接通了核心研发团队的电话。
“十分钟后,一号会议室,紧急技术研讨会。”她的声音平静,却带着不容置疑的决断力。
会议室里,气氛有些压抑。团队成员显然也都得知了赛林克斯发布会的消息,每个人的脸上都写满了凝重。
秀秀没有浪费时间安抚情绪,她直接走到电子白板前,拿起触控笔。
“各位,赛林克斯的CFET,大家都看到了。”她的目光扫过在场的每一位技术骨干,“这确实是一次强大的挑战,一次技术的‘第二次浪潮’。它告诉我们,仅仅掌握High NA EUV光刻技术,是远远不够的。器件的创新,与光刻的进步,必须像DNA双螺旋一样,紧密地缠绕在一起,协同演进。”
她在白板上画出了一个简单的示意图,一边是光刻机,一边是晶体管结构,中间用双箭头连接。
“CFET的出现,不是我们的噩耗,而是为我们指明了下一个必须攻克的战略高地!”秀秀的声音逐渐提高,充满了力量,“它带来的挑战是巨大的,但机遇同样巨大!这迫使我们必须跳出原有的思维框架,不能只满足于在现有架构下优化工艺参数。”
她开始引导团队进行头脑风暴。
“首先,我们需要立刻启动**CFET专项研究组**。”秀秀在白板上写下了“CFET”三个字母,并画了一个圈,“集中力量,攻克CFET涉及的关键工艺模块:高质量的选择性外延生长、低损伤的刻蚀技术、高深宽比的接触孔填充、以及层间介电材料的优化……我们要在最短的时间内,吃透它的技术原理和制造难点。”
“其次,**计算光刻团队**需要提前介入。”她看向负责计算光刻的专家,“针对CFET这种复杂的三维结构,开发新的光学邻近效应校正模型、反演光刻技术算法。我们需要模拟光在多层堆叠结构中的传播和反射,预测并补偿可能出现的图形畸变。这需要更强大的算力和更先进的算法。”
“第三,**材料团队**的任务更加艰巨。”秀秀的目光转向材料部门的负责人,“寻找更适合CFET堆叠的新型沟道材料?如何控制堆叠层之间的应力,避免缺陷产生?如何保证两层晶体管之间的完美电学隔离?这些都需要材料科学的源头创新。”
“最后,也是最重要的,”秀秀放下笔,双手撑在会议桌上,身体微微前倾,目光灼灼地看着所有人,“我们不能仅仅满足于跟随和模仿。赛林克斯给出了一个方向,但通往这个方向的路径可能不止一条。我们要在深入理解CFET的基础上,思考有没有属于我们自己的、更具竞争力的晶体管架构创新?比如,结合我们之前在纳米线晶体管上的技术积累,探索**环栅纳米线CFET**?或者,探索利用二维材料作为沟道的可能性?”
她的话,像一块投入平静湖面的石头,激起了团队成员眼中的火花。压力,开始转化为动力;凝重,逐渐被一种迎接挑战的兴奋所取代。
“秀博,您的意思是……我们不仅要跟进,还要想着超越?”一位年轻的工程师忍不住问道,声音里带着一丝激动。
“为什么不行?”秀秀反问道,嘴角甚至勾起了一丝自信的弧度,“‘弦光一号’我们都能做出来,CFET这座堡垒,我们就攻不下来吗?而且,我们要思考的,不是简单地攻下来,而是如何以更优的路径、更低的成本、更高的性能攻下来!这第二次浪潮,我们不仅要站稳,还要争取冲在浪尖上!”
会议持续了数小时,从技术难点拆解到资源调配,从短期目标设定到长期技术路线图规划。当秀秀最终宣布散会时,虽然每个人脸上都带着疲惫,但眼神中却重新燃起了那种熟悉的、攻坚克难的光芒。
秀秀最后一个离开会议室。她走到走廊的窗前,望着窗外。夕阳的余晖给园区镀上了一层金色。她感受到的,不再是发布会刚结束时那种沉重的压力,而是一种沉甸甸的责任感和一种蓬勃欲发的创新激情。
对手的强大,恰恰证明了这条道路的价值。这第二次浪潮,来得迅猛,但也彻底激发了她和团队下一轮创新的巨大动力。她知道,前路依然艰险,但她和她的团队,已经做好了迎浪而上的准备。光刻机的战役暂告段落,但属于中国芯片产业的、更加波澜壮阔的创新长征,才刚刚进入新的深水区。