“最后,是**材料与工艺的极限**。”她的笔尖重重地点在“n”上,“寻找比水的折射率1.44更高的、适用于EUV波段的**浸润液体**,是一个世界级的难题。现有的材料要么折射率提升有限,要么在EUV的高能量光子轰击下不稳定、易产生气泡或分解,反而引入新的缺陷。如果不能找到合适的液体,那么提升NA的重担就将完全压在增大孔径角θ上,这会让光学系统的设计和制造难度再上一个台阶。”
秀秀放下了电子笔,目光扫过全息投影中的墨子和悦儿,她的脸上没有畏惧,只有一种近乎虔诚的专注和燃烧的斗志。
“High NA EUV,是我们通往2nm以下工艺节点,乃至探索1nm时代的必经之路,是继续延续摩尔定律生命线的关键一战。这一战,比我们之前攻克DUV、攻克浸润式、甚至攻克EUV光源本身,都要艰难得多。它涉及光学、材料、精密机械、热管理、控制软件几乎所有工程领域的极限突破。”
她深吸一口气,声音里带着一种不容置疑的决心和一种分享梦想的热切:“但是,这是我们必须要走的路。我们不能停留在250瓦的功劳簿上。世界的技术竞争不会等我们,未来的芯片需求不会等我们。我希望,我们‘弦光’,能成为第一个真正攻克High NA EUV商业化壁垒的团队!这是我的下一个梦想,也是我们接下来必须全力以赴的……**下一战**!”
实验室里一片寂静,只有设备低沉的运行声。全息投影中,悦儿看着秀秀,眼中充满了欣赏和理解。她看到了秀秀身上那种属于真正开拓者的勇气,那种不断将未知变为已知的工程师之魂。她轻轻点头,无声地传递着自己的支持。
而墨子,他静静地听着秀秀的阐述,从NA公式的解析,到技术挑战的层层剥茧,再到最后那掷地有声的宣言。他看到了这条道路的艰难,看到了那背后将是天文数字般的资金投入、无法预料的技术风险以及漫长而充满不确定性的研发周期。任何一个理性的投资者,面对这样的项目,恐怕都会再三权衡,甚至望而却步。
但是,他看到的更多。他看到的是秀秀眼中那不容置疑的坚定和光芒,那是他愿意无条件信任的、属于顶尖实干家的直觉与魄力。他看到的是High NA EUV背后代表的,不仅是商业上的巨大回报,更是对国家尖端制造能力的绝对提升,是对整个人类计算边界的再次推动。这完全契合“弦光”存在的根本意义。
他没有询问详细的预算,没有评估潜在的风险回报比,甚至没有一丝一毫的犹豫。在秀秀话音落下的片刻寂静之后,墨子平静而坚定的声音,透过全息投影,清晰地传遍了实验室:
“弦光基金,将提供无上限的资金支持。”
这句话,如同一个沉重的、却充满了力量的砝码,稳稳地落在了天平的一端。没有华丽的辞藻,没有复杂的条件,只有最简单、也最彻底的信任与承诺。
秀秀怔住了,她预想过墨子会支持,但没想到是如此干脆利落、如此不留余地的支持。一股巨大的暖流和难以言喻的感动瞬间冲垮了她作为技术统帅的坚强外壳,她的眼眶微微发热,用力抿住了嘴唇,才没有让情绪失控。她不需要说什么,只是重重地点了点头,一切尽在不言中。
悦儿的脸上露出了温暖而欣慰的笑容。她看着墨子,看着秀秀,看着这个由他们三人构成的、坚不可摧的联盟。资本的力量,技术的梦想,理论的指引,在此刻再次完美地交融在一起。
秀秀深吸一口气,强行压下翻涌的心绪,她的目光重新变得锐利而专注,投向了那片等待着被填满的空旷区域,仿佛已经看到了那座名为“High NA EUV”的宏伟山峰。
“好。”她只说了一个字,却仿佛吹响了进攻的号角。
下一战,征程再起。而这一次,他们的身后,是更加稳固的联盟和更加坚定的信念。光刻的史诗,即将翻开更高分辨率、更富挑战性的新篇章。