一次又一次的测试,一次又一次的失败。实验室里开始弥漫着一种焦灼和沮丧的气息。刺眼的闪光一次次亮起,但期待中的稳定、强大的EUV光却始终不见踪影。收集镜上已经开始出现了锡残留污染的迹象,这意味着他们不仅没能产生足够的光,还在损坏极其宝贵且难以修复的光学部件。
团队成员们疲惫不堪,有人开始怀疑这条技术路径的可行性,私下里讨论是否应该探索其他更“冷门”但或许更容易的EUV产生方式。
秀秀承受着巨大的压力。她几乎住在了实验室,眼睛因为长时间观察高速摄影回放和分析光谱数据而布满血丝。她亲自调整激光参数,和团队成员一起拆装、清洗被污染的收集镜,分析每一次失败后残留的锡渣形态。
在一次关键的失败分析会上,面对众人的质疑和低落士气,秀秀站了出来,她的声音因疲惫而沙哑,却带着不容置疑的坚定:
“我知道大家很累,很挫败。LPP这条路,是公认的最难走的路,但也是目前唯一被证明能够满足光刻功率和可靠性要求的路。ASML走通了,我们凭什么走不通?”
她走到白板前,画下那次失败实验中高速摄影记录下的锡滴变形图像。
“问题不是出在原理上,是出在细节上!是我们的控制不够精,我们的理解不够深!锡滴的均匀性、激光的波形、作用的时序……每一个参数,都需要我们像绣花一样去打磨!”
“每一次失败,高速相机都告诉我们锡滴是如何反应的,光谱仪都告诉我们能量是如何转化的,残留物都告诉我们过程是如何失控的。这些不是失败,这些是数据!是通往成功的路标!”
她的目光灼灼,扫过每一张疲惫的脸:“我们现在摸到的,就是EUV光源最硬的骨头。啃下它,前面就是一片坦途。啃不下,我们之前所有的努力,真空、光学……都失去了意义!我们不能退,也没有退路!”
她的坚韧和清晰的思路,像一剂强心针,稳住了摇摇欲坠的军心。团队重新振作起来,投入到更细致、更枯燥的参数优化和实验中去。
然而,一个关键瓶颈始终无法突破:国产的锡滴喷嘴在长时间高频工作下,其微孔容易因锡液的侵蚀和热负荷而变形,导致锡滴均匀性下降。他们急需一种更耐高温、更抗侵蚀、加工精度更高的特种材料喷嘴。而这类尖端部件,同样在禁运清单之上。
一天深夜,秀秀在实验室的临时休息室里,对着笔记本电脑上喷嘴磨损的微观结构照片发愁,几乎感到了绝望。她下意识地在一个只有三个人的小群里发了一条简短的消息,没有具体说明,只是一句带着深深疲惫的感叹:“又一个瓶颈卡死了,感觉像是在用头撞铁板。”
这个群里,只有她、悦儿和墨子。
很快,墨子回复了,没有多余的安慰,只有一句话:“把瓶颈的具体技术参数和要求发给我,也许有办法。”
秀秀犹豫了一下,但出于对墨子那种神秘能力和之前帮助的信任,她还是将喷嘴的材料性能要求、工作环境以及面临的困境整理成一份简洁的技术需求,发了过去。
她并没有抱太大希望,这毕竟是高度专业的精密部件。
然而,仅仅三天后,墨子再次联系她,给了她一个德国某著名大学下属精密工程实验室的联系方式和一个对接人的名字。“他们有一个小组,在研究一种新型的碳化硅复合材料微加工技术,或许能满足你们的需求。我已经和他们初步沟通,他们愿意进行技术交流和样品测试。”
秀秀几乎不敢相信。她立刻组织团队与对方取得了联系。沟通非常顺利,对方的研究方向恰好能解决他们的痛点。更让她惊讶的是,对方表示,可以优先为他们提供一批实验用的喷嘴样品进行测试,条件非常合理。
后来,秀秀才偶然得知,是墨子通过一个复杂的海外技术投资基金的渠道,以“赞助前沿材料研究”的名义,向那个实验室提供了一笔可观的研发资金,并指定了研究方向,才如此迅速地推动了这件事。他并没有直接购买禁运部件,而是以一种更巧妙、更长远的方式,为她打通了获取关键技术的替代路径。
当第一批闪烁着陶瓷特有光泽的高精度碳化硅复合喷嘴样品送到实验室时,秀秀抚摸着那光滑而坚硬的表面,心中百感交集。她再次在那个三人小群里发了一条信息,只有两个字,却重逾千钧:“谢谢。”
墨子的回复依旧简洁:“期待你们的好消息。”
拿着新的喷嘴,秀秀和团队重新燃起了斗志。他们知道,这不是终点,LPP的路上还有无数艰难险阻。但在这个至暗时刻,这份来自远方、不动声色的支持,如同在泥泞跋涉中递来的一根坚实手杖,让她和她的团队能够稳住身形,积蓄力量,准备向着那狂暴的“锡滴爆发”,发起新一轮的、更加坚定的冲击。失败依然可能接踵而至,但希望的火种,已然被这份雪中送炭的助力,小心翼翼地护卫着,在废墟中顽强地闪烁。